СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

1. СОВРЕМЕННЫЕ ПОДХОДЫ И ПРОГРАММНЫЕ СРЕДСТВА ПОВЫШЕНИЯ ВЫХОДА ГОДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ
1.1. Концепции «проектирования на технологичность» и «виртуального производства» изделий микроэлектроники
1.2. Программные средства статистического контроля качества ИМС
1.2.1 Инструментальная среда Virtual Wafer Fab компании Silvaco
Модуль OPTIMIZER
Модуль SPAYN
1.2.2. Статистическое проектирование в программе DFM Workbench компании SYNOPSYS
1.2.3. Программный комплекс IDS dataPOWER
1.2.4. Семейство программ Visual Numerics PV-WAVE
1.2.5. Программы Genesis Fabless/Solar

2. УПРАВЛЕНИЕ КАЧЕСТВОМ ПРОИЗВОДСТВЕННОГО ПРОЦЕССА И ПОВЫШЕНИЯ ВЫХОДА ГОДНЫХ ИЗДЕЛИЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СТАТИСТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ
2.1. Общие предпосылки для использования статистических методов для контроле качества ИМС
2.2 Представление и хранение информации
2.3 Установка размера пластины и положения ячеек
2.4 Анализ выхода годных изделий с использованием карт пластин
2.5 Виды и характеристики карт пластин
2.5.1 Функциональная карта
2.5.2 Нулевая карта
2.5.3 Карта высокой области
2.5.4 Карта низкой области
2.4.5 Карта предыстории
2.4.6 Информативная карта
2.4.7 Кластерная карта
2.5 Подходы к исследованию карт пластин
2.6 Статистические методы анализа экспериментальных данных
2.7 Методы моделирования выхода годных ИМС в зависимости от их расположения на пластине